超純水機與蒸餾水器同時屬於水質處理裝置，蒸餾水器作為最早的水質處理裝置，在水質處理能力上非常強，但是由於在使用過程中的條件非常苛刻，而且使用年限根據客戶對其保養的情況而定，所以導致超純水機出現後，逐漸取代了蒸餾水器在實驗室的地位，也使得越來越多的大學在實驗教學時不再使用蒸餾水器。

超純水機能完全取代蒸餾水器嗎？若要考慮超純水機能否取代蒸餾水器，就需要從兩者的出水水質來看了，一般來說蒸餾水器單蒸的和雙蒸的屬於三級水，用於實驗室器皿清洗，緩衝液配製等；三蒸水一般為二級水，可以做組織培養生化試驗等。石英蒸餾水器的出水水質要比不鏽鋼蒸餾水器要好，石英蒸餾水器的雙蒸水可以達到二級標準。石英亞沸蒸餾水器的水質更好，甚至能達到一級水。

多效蒸餾器

超純水機相較於蒸餾水器的區分沒那麼複雜，超純水機制取的超純水可達一級用水標準，直接達到符合實驗室試驗的最高用水標準，而且能連續出水，出水水質穩定，功耗低，廢水率低，這都是超純水機的優勢，從這部分看，超純水機可完全取代蒸餾水器。

超純水機雖然可以取代蒸餾水器，但並非可以完全取代它，我們在醫藥行業會經常看到蒸餾水器，這是因為在生產靜脈注射藥物時，常常需要將水中細菌、真菌、病毒等微生物完全去除，及時不能完全去除，也需要做到滅活處理，這樣才能使水中微生物在注射入人體後不會造成身體上的傷害。我們常見的蒸餾水器並不能達到這樣的效果，一般採用多效蒸餾器才能使水質符合標準，而多效蒸餾器所產出的水質也並非能達到一級水標準，所以超純水機雖不能完全取代蒸餾水器，但除特殊條件下的用水外，都能符合標準。