國產光刻機之路,造不如買的後果嚴重

說到光刻機,大家想到的都是荷蘭的AMSL公司,現在全球只有他們可以造出最先進的光刻機。要想造光刻機非常困難,因為光刻機所需零件多、技術要求極高。那麼,為什麼我們國家的光刻機就那麼落後呢?

國產光刻機之路,造不如買的後果嚴重

光刻機像一個照相機,利用光在矽片上進行操作,電路圖透過光刻機投射到底片上,就像用光進行雕刻。現在的光刻機是利用極紫外光,同時需要一系列精密的儀器來改變光,最終達到光刻的效果。7nm及以下的先進工藝就是使用EUV光刻機,但目前只有荷蘭ASML可以生產能夠實現量產的光刻機。

國內的光刻機之路是怎樣的呢?早在1977年,我國最早的光刻機誕生,名叫JGK-3,隨後,在1985年,就研製出來首臺g線1。5um分步光刻機,那時和國外有差距,但差距不超過4年。

但是隨著時間的推移,80年代末,為了儘快的趕上國外和國內的差距,我們奉行“造不如買,買不如租”的政策,大力引進國外技術,但是國外技術因為其先進性,變相打壓了國產技術,競爭之下,國產技術得不到支援,發展緩慢。

國產光刻機之路,造不如買的後果嚴重

直到2000年,國產企業才重新意識到光刻機領域的落後,開始自主研發,但長久依賴進口使國內技術環境非常落後,人才也大量流失到國外,國內外差距非常大。即使是國內的上海微電子,在國外排名也只能躋身三線。同時,我們還有其他的弱點,那就是沒有完善的半導體供應鏈體系,所以在美國的技術封鎖下,我們只能默默挨“卡”。

以前奉行的政策是一個原因,另一個客觀原因就是海外的技術壟斷,美國一直限制先進技術出口中國,即使出售光刻機,也含有保留條款。海外技術壟斷下,自研更加困難。

國產光刻機之路,造不如買的後果嚴重

即使如此艱難,我們依舊不會停下腳步,國產替代勢在必行,相信科研人員的努力,相信國家科技的發展。