國產 28nm 溼法裝置投用,供貨華為、中芯國際

國產半導體裝置廠商至純科技在互動平臺表示:28nm節點全部溼法工藝裝置已經完成認證。溼法清洗裝置屬於半導體制造中清洗環節,又一國產裝置成功認證,促進國產替代發展。

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國產 28nm 溼法裝置投用,供貨華為、中芯國際

晶片製造的過程相當複雜,總的來說分為晶片設計、晶片代工、晶片封測三個大環節,溼法裝置就是用於晶片代工中的清洗環節的,清洗佔代工步驟的30%以上,是相當重要的一步。

國內的溼法裝置提供商有至純科技、北方華創和盛美,至純科技成立於2000年,去年,該公司的溼法裝置出貨量超過30臺,在國產廠家中有很重要的地位。此次完成了28nm節點的全部裝置認證,並對14nm和7nm的裝置持續攻克中。現在使用至純科技裝置的廠商有華為、中芯國際、華虹半導體。

國產 28nm 溼法裝置投用,供貨華為、中芯國際

在清洗裝置領域,國內自主化不到10%,市場份額被日韓企業壟斷,在晶片被卡脖子的情況下,至純科技的28nm攻克,有效地促進了國產晶片自主化。28nm是當前國內主要量產目標,有訊息說國內將在今年年底或明年年初實現完全自主化的28nm量產,看來並不是沒有希望。

國產 28nm 溼法裝置投用,供貨華為、中芯國際

當前除了28nm的量產,中芯國際還在努力攻克7nm晶片量產,但是由於沒有先進的EUV光刻機支援,陷入僵局。國內不止中芯國際一家國產企業,雖然中芯國際的實力是最強的,但晶片製造需要的是各方面的配合,希望國內半導體行業多多湧現出好企業,助力國產半導體發展。